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Zeitungsartikel

  • Benedikt Winter
  • Isabell Herer

Neue Sensormaterialien nach dem „Pizza-Prinzip“. Weltweit einmalige Anlage am TC Teisnach für Pulsed Laser Deposition. Mit Laserstrahlverdampfen im Labormaßstab zum Industriestandard Wafer-Level

In: Sensorik-Magazin des Clusters Sensorik Strategische Partnerschaft Sensorik e.V. pg. 5-7.

  • April (2022)
Belegen, backen und in den Ofen schieben. Das ist nicht zwingend ein Thema nach Arbeitsschluss am Küchentisch. Die Pulsed-Laser-Deposition-(PLD-)Anlage am Technologie Campus in Teisnach ist weltweit einmalig, Hightech pur, dennoch lässt sich die Funktionsweise bzw. diese Form des Laserstrahlverdampfens einfach und gut erklären – und zwar am besten mit dem „Pizza-Prinzip“. Das Ergebnis sollte vor allem Technologieexperten aus der Industrie schmecken. Wafer mit einem Durchmesser bis zu 300 mm lassen sich hiermit beschichten.
  • TC Teisnach Sensorik
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